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罗石华 先生
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发布时间:2022-01-08 03:57:43
用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气和反应气体如氮气或氧气。电子节气门的种类有电液式、线性电磁铁式、步进电机式和直流伺服电机式四种,不过电液式和步进电机式由于控制精度不高,线性电磁式则由于所需电功耗较大,都很少在汽车上应用,直流伺服电机式则很好的克服了以上两种情况,从而在汽车上应用较为广泛。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。
磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。薄膜混合集成电路适用于各种电路,特别是要求精度高、稳定性能好的模拟电路。
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冷却是一切源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
机油冷却器的种类
1)风冷式机油冷却器
风冷式机油冷却器的芯子由许多冷却管和冷却板组成,在汽车行驶时,利用汽车迎面风冷却热的机油冷却器芯子。风冷式机油冷却器要求周围通风好,在普通轿车上很难保证有足够的通风空间,一般很少采用。在上多半采用这种冷却器,因为速度高,冷却风量大。
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